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什么是無油真空泵,有哪些特點及應(yīng)用領(lǐng)域?

更新時間:2020-11-26點擊次數(shù):1054
  無油真空泵屬于無油類真空泵常用產(chǎn)品之一,由于不再使用密封液,工作時也不用添加任何真空油,大大提升了所排出空氣的質(zhì)量,還有一個顯著的特點就是在運作時發(fā)出的噪音非常小,不對環(huán)境造成任何影響。
  
  無油真空泵由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子,偏心地安裝在定缸內(nèi),當轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時,氣體通過進氣管進入過濾消音器內(nèi)進行過濾,達到靜音的效果,轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室,由于離心力作用,旋片緊貼在缸壁,把定子進排出口分離開來,周而復(fù)始運轉(zhuǎn),進行變?nèi)荩瑢⑽霘怏w,從排氣口排出,從而達到抽氣目的。
  
  無油真空泵特點:
  
  1、該產(chǎn)品無需任何工作介質(zhì)(無油)可產(chǎn)生潔凈的真空,不產(chǎn)生污染,生產(chǎn)過程中采用新技術(shù)和新材料。
  
  2、便于攜帶,移動方便,工作流暢。采用無油潤滑,活塞結(jié)構(gòu),比普通隔膜泵使用壽命更長久。
  
  3、泵體電機采用耐受性能更好的全銅電機,可保證長久的連續(xù)工作和運轉(zhuǎn)。
  
  4、*的壓力可調(diào)式設(shè)計,可滿足一定范圍內(nèi)的真空度和氣體流速。
  
  5、采用進口軸承,運轉(zhuǎn)平滑,無噪音,使用壽命長久,工作效率高。
  
  6、機身外殼采用合金材料一體式壓鑄成型,保證外觀的整潔和散熱性能。
  
  7、可選配防腐空氣過濾器,避免腐蝕性氣體對泵體配件的損壞,有效防腐蝕。
  
  常見應(yīng)用領(lǐng)域:
  
  1、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。
  
  2、半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。
  
  3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求。
  
  4、無油真空泵在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵。
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